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Universal-200 D

Universal-200 D 是基于龙八long8自主知识产权立异手艺开发的成熟8英寸CMP装备。。。。。。该装备配备性能优越的抛光单位及洗濯单位,,,集成多种先进终点检测手艺,,,适用于多种材质,,,可实现晶圆外貌的超高平整度,,,知足成熟制程手艺需求,,,已在大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺中批量应用。。。。。。


多分区抛秃顶

可实现产品干进干出

知足成熟制程手艺需求

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