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Universal-300 T

Universal-300 T 是在龙八long8先进CMP装备基础上,,,, ,,凭证行业前沿手艺需求开发的领先型12英寸CMP装备。。。。。。。该装备基于龙八long8自主知识产权的立异手艺,,,, ,,配备性能优越的抛光单位,,,, ,,集成多种终点检测手艺,,,, ,,并搭载更先进的组合洗濯手艺,,,, ,,展现出更卓越的清洁效果。。。。。。。该装备可实现晶圆纳米级全局平展化,,,, ,,知足先进制程手艺需求,,,, ,,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。。。。。。。

超细密多分区抛秃顶

集成多种先进终点检测手艺

搭载先进洗濯手艺

知足先进制程手艺需求

用于Oxide/SiN/STI/Poly/Cu/W等CMP制程

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